質量分析に関する一考察 : SF_6プラズマ中の解離現象
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概要
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The trajectory of charged particles in E×B mass spectral analyzer were obtained by solving the equation of motion. The time of flight for the dissociative products of SF_6 were calculated to estimate the time resolution of this mass spectral analyzer considering the application to the SF_6 gaseous discharges. The time resolution less than 50μs is predicted. The calculation of trajectory with incidence parallel to the magnetic line of force showed that this configuration can be applied to the simultaneous analysis of both energy and mass spectra of charged paticle.
- 山梨大学の論文
著者
-
大津 孝佳
(株)日立グローバルストレージテクノロジーズ
-
松沢 秀典
山梨大工
-
松沢 秀典
山梨大学工学部電子情報工学科
-
大津 孝佳
山梨大学工学部
-
秋津 哲也
山梨大学工学部
-
大津 孝佳
(株)日立製作所ストレージシステム事業部
-
松沢 秀典
山梨大学工学部
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