磁気ヘッドのESD現象とESD/EMIコントロール(放電/電力/一般)
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概要
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大容量ストレージ技術を支えるナノデバイスであるGMR (Giant Magneto Resistive)ヘッドのESD/EMI現象の検討を行い,次の破壊モードを明らかにした.(1)絶縁破壊,(2)発熱溶融,(3)発熱と磁界によるピン反転,(4)自由層ダメージ,(5)フィールドエミッション現象.また,E-PCOT (ESD Protection committee of Tomorrow)でのESD/EMIコントロール活動について報告する.
- 2008-12-12
著者
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