マグネトロン型イオン源による負イオンの生成と検出
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概要
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A magnetron type ion source, which utilizes the electron-impact ionization of gases by the electron shower, was developed. The ionization characteristic for Ar and SF_6 gases were obtained. The numerical simulation of electron trajectories in the discharge space are presented for the possible explanations of ionization characteristic curves.
- 山梨大学の論文
著者
-
大津 孝佳
(株)日立グローバルストレージテクノロジーズ
-
秋津 哲也
山梨大・工
-
秋津 哲也
山梨大学工学部電子情報工学科
-
松沢 秀典
山梨大工
-
松沢 秀典
山梨大学工学部電子情報工学科
-
大津 孝佳
山梨大学工学部
-
平尾 博幸
山梨大学工学部
-
秋津 哲也
山梨大学工学部
-
大津 孝佳
(株)日立製作所ストレージシステム事業部
-
松沢 秀典
山梨大学工学部
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