四重極質量分析SXP300による反応性プラズマ診断
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概要
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This paper presents a plasma monitoring system for experimental study of the decomposition process of the reactive gases used in the plasmac hemical processing, by the use of the SXP300 quadrupole mass spectrometer The decomposition process of the sulphur-hexafluoride, SF_6,in a low pressure, 2×10^<-4> Torr, multipolar argon plasma was studied.
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