28a-YX-13 パルスECR励起マグネトロン・スパッタリングにおけるプラズマ電位制御
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人日本物理学会の論文
- 1995-03-16
著者
-
秋津 哲也
山梨大・工
-
宮下 大幸
山梨大学・工、電子情報工学科
-
松沢 秀典
山梨大工
-
中前 征司
山梨大学・工学部・電子情報工学科
-
助川 俊光
山梨大学・工学部・電子情報工学科
-
秋津 哲也
山梨大学・工学部・電子情報工学科
-
松沢 秀典
山梨大学・工学部・電子情報工学科
-
松沢 秀典
山梨大・工
-
松沢 秀典
山梨大
関連論文
- エキシマレーザアニーリングを用いた焼結体高温超伝導体の粒子間結合の改善
- ELA法による高温超伝導体の表面改質
- 近紫外域誘電体多層反射鏡(PbF2-MgF2)の温度特性
- 高密度・大電流プラズマからの放射とその計測研究会プログラム
- 医用生体材料の滅菌法に関する総合的研究 : 高濃度オゾン滅菌法による歯科材料の滅菌評価
- 11. 大気圧プラズマによる医療用器材の滅菌(第24回甲信越支部大会, 支部大会抄録)
- マイクロ波励起表面波プラズマによる低温プラズマ滅菌 : -文部科学省革新的技術開発研究による産学官連携研究開発事業-(MEXT-GADIT課題番号13307)
- 28p-ZA-10 高温超伝導体レンズ(スーパートロン)の誘導加速器への応用
- 27p-R-1 スーパートロン(バルク高温超伝導体レンズ)を用いた新しいプラズマ閉じ込め法
- プラズマ発生ガスの相違による滅菌効果の違い
- 高温超伝導体円筒(スーパートロン)によるナノ秒強電子ビームパルスの発生
- ECR励起マグネトロン・スパッタリングによるTa_2O_5薄膜の形成
- ECRイオン源のイオンエネルギー制御
- 低温ガラス状アルコール中における固体色素レーザ
- 77K氷固体ローダミン6G色素レーザの特性
- 27p-R-12 ECR励起プラズマ中の反応性マグネトロン・スパッタリングによるTa_2O_5薄膜の合成
- 22pXF-7 変形二層構造高温超伝導体円筒(スーパートロン)の電子ビーム集束特性
- 28p-ZA-9 溶融高温超伝導体レンズによる相対論的電子ビームの集束
- 28p-H-9 熔融高温超伝導体レンズの特性
- 30p-YF-10 スーパートロン(バルク高温超伝導体レンズ)の収束距離と動作機構
- スーパートロン(バルク超高温伝導体レンズ)の動作機構と収束距離
- 低気圧SF_6 RF放電の周波数依存
- 28p-ZE-7 光脱離を利用した負性ガス放電中の負イオンの検出III
- 3a-TC-6 光脱離を利用した負性ガス放電中の負イオンの検出II
- 2p-Q-4 光脱離を利用した負性ガス放電中の負イオンの検出
- 27p-D-7 バルク高温超伝導体レンズ(スーパートロン)の収束状況
- 1p-TG-6 スーパートロン(高温超伝導体レンズ)によるREBの偏向・収束
- 29a-YX-10 プラズマ励起原子源による薄膜結晶の合成
- 19. 相対論的電子ビームによる金属 Mn イオンの励起実験
- 19. EXCITATION CHARACTERISTICS OF HELIUM PLASMA IN A TRI-PLATE TYPE Z PINCH
- 18aRA-4 バルク(塊)高温超伝導体円筒
- 28aXH-13 粒径1ミクロン微粉体プレス高温超伝導円筒による電子ビーム集束特性
- 24aYG-10 高温超伝導体円筒(スーパートロン)によるナノ秒REBの発生
- 29a-XH-11 二層構造超伝導体円筒(スーパートロン)の電子ビーム収束特性
- 複合高温超伝導円筒(スーパートロン)の電子ビーム収束特性
- 26a-F-3 複合高温超伝導体円筒(スーパートロン)の電子ビーム収束特性
- 31aSH-13 高温超伝導体ウィグラによる微少磁石偏向
- 28a-YX-13 パルスECR励起マグネトロン・スパッタリングにおけるプラズマ電位制御
- 3p-W-2 ECRイオン源のバイアス技術_マグネトロンスパッタリングの周期的ビームによる変調
- 高ガス圧動作 REB ダイオード : 常電導および超電導体陽極
- 3p-D6-1 高温超電導体陽極を有するREBダイオード
- 29a-H-3 電子付着不安定性による弱電離プラズマ中の電気二重層の形成
- 28a-H-2 負イオンが存在する場合の陰極降下部の形成条件
- 20. 高ガス圧雰囲気ビームダイオード動作と周期永久磁石場による収束・輸送
- 4a-RC-12 SF_6過渡放電プラズマ中の電離不安定性II
- マグネトロン型イオン源による負イオンの生成と検出
- 高温超伝導体の電子レンズ系への応用
- 超伝導バルク磁石ミラー磁場を用いたプラズマ閉じ込め
- 31a-YC-1 バルク(塊)高温超電導体レンズ(スーパートロン)のフェライトコア・モデルの実験的検証
- 12a-N-9 バルク高温超伝導体レンズ(スーパートロン)の動作温度特性(II)
- 1a-ZD-1 バルク高温超伝導体レンズ(スーパートロン)の動作温度特性(プラズマ物理・核融合(高電力電磁波発生))
- 27a-A-1 高温超伝導体レンズの集束可能電流値
- 14p-DG-10 小口径放電管中のHeグロー放電で観測された電離不安定性のスペクトルの広帯域化とフラクタル次元の増大
- 28p-Y-7 放電プラズマ中のカオス-N_2のキャピラリー放電におけるパラメータマッピングとスペクトル
- ECRイオン源のイオン加速機構 (平成3年度理研シンポジウム「プラズマの基礎過程--最近のシ-ス問題」(1991年12月16日開催)特集号)
- 27aC28P 高温超伝導体中におけるネオンプラズマの挙動(プラズマ基礎・応用)
- 反射型イオン源の製作
- 電子エネルギ-分布関数測定用プロ-ブ回路デ-タ処理の自動化
- 相対論的電子ビ-ム(REB)直接励起レ-ザ-研究用光学セルの試作
- 超伝導バルク磁石によるプラズマ閉じ込め
- 5p-YN-10 高温超伝導体円筒中の放電プラズマのインピーダンス整合
- 電気的に頂角可変のプリズム型セルを用いる波長可変小型色素レーザー
- 31a-YW-7 スーパートロン(バルク高温超伝導体レンズ)のカスケード動作II
- 多重極カプス磁場によるプラズマ閉じ込め
- 質量分析に関する一考察 : SF_6プラズマ中の解離現象
- 短共振器氷固体色素レーザーの動作特性
- N2レ-ザ-励起による短共振器ロ-ダミン6G色素レ-ザ-の発振特性
- 頂角可変液体プリズムの作成とその色素レ-ザ-への応用
- N2レ-ザの低ジッタ動作に対する外部トリガパルスの影響の光学的測定
- 電子エネルギー分布関数測定用プローブ回路データ処理の自動化
- 5p-T-11 スーパートロン(バルク高温超伝導体レンズ)のカスケード動作
- 誘電体干渉フィルタ付プリズムによる色素レ-ザの発振波長同調
- 2p-E-8 SF_6ガス放電における強調発光(II)
- 2a-CG-8 高速パルス電子ビームによるSF_6ガスの多電極放電
- 14a-DF-8 SF_6過渡放電プラズマ中における移動縞の観測
- 2p-SE-13 SF_6ガス放電における強調発光 III
- 2a-T-9 低気圧CF_4ガス放電における発光現象
- 9aSQ-6 高温超伝導体ウィグラーの冷却特性(プラズマ応用(高電力電磁波発生),領域2)
- 29p-LK-7 高ガス圧雰囲気ビームダイオード動作と周期永久磁石場によるREB輸送(プラズマ物理・核融合(REB,FEL,ピンチ他))
- 1a-YL-7 バルク高温超伝導体レンズ(スーパートロン)への磁場侵入(1aYL プラズマ物理・核融合(プラズマ応用),プラズマ物理・核融合)