助川 俊光 | 山梨大学・工学部・電子情報工学科

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概要

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関連著者

• 松沢 秀典

  山梨大工

• 助川 俊光

  山梨大学・工学部・電子情報工学科

• 松沢 秀典

  山梨大・工

• 秋津 哲也

  山梨大・工

• 中前 征司

  山梨大学・工学部・電子情報工学科

• 秋津 哲也

  山梨大学工学部

• 松沢 秀典

  山梨大

• 中川 恭彦

  山梨大学・工学部・電子情報工学科

• 宮下 大幸

  山梨大学・工、電子情報工学科

• 秋津 哲也

  山梨大学・工学部・電子情報工学科

• 松沢 秀典

  山梨大学・工学部・電子情報工学科

• 中川 恭彦

  山梨大・工

• 村田 雄一

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• 秋津 哲也

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• 荻野 貴史

  山梨大学・工学部・電子情報工学科

• 松沢 秀典

  山梨大学工学部電子情報工学科

• 宮下 大幸

  山梨大学工学部電子情報工学科

• 助川 俊光

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• 中前 征司

  山梨大・工

• 助川 俊光

  山梨大学工学部

• 渡辺 文晴

  山梨大学工学部

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  山梨大学工学部

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著作論文

• ECR励起マグネトロン・スパッタリングによるTa_2O_5薄膜の形成
• 27p-R-12 ECR励起プラズマ中の反応性マグネトロン・スパッタリングによるTa_2O_5薄膜の合成
• 28a-YX-13 パルスECR励起マグネトロン・スパッタリングにおけるプラズマ電位制御
• 3p-W-2 ECRイオン源のバイアス技術_マグネトロンスパッタリングの周期的ビームによる変調

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