助川 俊光 | 山梨大・工

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概要

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関連著者

• 中川 恭彦

  山梨大・工

• 中川 恭彦

  山梨大学・工学部・電子情報工学科

• 秋津 哲也

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• 松沢 秀典

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• 松沢 秀典

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著作論文

• 27p-R-12 ECR励起プラズマ中の反応性マグネトロン・スパッタリングによるTa_2O_5薄膜の合成

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