中川 恭彦 | 山梨大学・工学部・電子情報工学科

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概要

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関連著者

• 中川 恭彦

  山梨大学・工学部・電子情報工学科

• 松沢 秀典

  山梨大工

• 土屋 直人

  山梨大学・工

• 中前 征司

  山梨大学・工学部・電子情報工学科

• 助川 俊光

  山梨大学・工学部・電子情報工学科

• 松沢 秀典

  山梨大・工

• 倉又 和大

  山梨大学

• 秋津 哲也

  山梨大学工学部

• 松沢 秀典

  山梨大

• 倉又 和大

  山梨大学・工

• 中川 恭彦

  山梨大・工

• 村田 雄一

  山梨大学・工学部・電子情報工学科

• 秋津 哲也

  山梨大・工

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  山梨大学・工学部・電子情報工学科

• 松沢 秀典

  山梨大学・工学部・電子情報工学科

• 荻野 貴史

  山梨大学・工学部・電子情報工学科

• 助川 俊光

  山梨大・工

• 中前 征司

  山梨大・工

• 中谷 忍

  山梨大・工

• 中谷 忍

  山梨大学・工

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著作論文

• ECR励起マグネトロン・スパッタリングによるTa_2O_5薄膜の形成
• 27p-R-12 ECR励起プラズマ中の反応性マグネトロン・スパッタリングによるTa_2O_5薄膜の合成
• リニア方高速熱処理法による薄膜配向性の制御
• リニア型高速熱処理法による薄膜配向性の制御
• ストンリー波解析とガラス基板へのSAW励振
• OB06 SAWウェハ上の高精度速度測定(材料・計測)
• SAWウェハ上の高精度速度測定

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