秋津 哲也 | 山梨大学・工学部・電子情報工学科
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概要
関連著者
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松沢 秀典
山梨大工
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秋津 哲也
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村田 雄一
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荻野 貴史
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菅ノ又 伸治
山梨大学・工学部
著作論文
- ECR励起マグネトロン・スパッタリングによるTa_2O_5薄膜の形成
- 28a-YX-13 パルスECR励起マグネトロン・スパッタリングにおけるプラズマ電位制御
- 29a-H-3 電子付着不安定性による弱電離プラズマ中の電気二重層の形成
- 28a-H-2 負イオンが存在する場合の陰極降下部の形成条件