高橋 夏木 | 日本真空技術(株)産業機器事業部

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概要

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• 日本真空技術(株)産業機器事業部の論文著者

関連著者

• 高橋 夏木

  日本真空技術(株)産業機器事業部

• 大久保 治

  日本真空技術(株)産業機器事業部

• 鈴木 一弘

  川崎製鉄(株)技術研究所

• 鈴木 一弘

  川崎製鉄株式会社技術研究所

• 井口 征夫

  川崎製鉄(株)技術研究所

• 井口 征夫

  川崎製鉄株式会社技術研究所

• 小林 康宏

  川崎製鉄(株)技術研究所

• 岡本 昭夫

  大阪府立産業技術総合研究所

• 石川 順三

  京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻

• 道園 真一郎

  高エネルギー加速器研究機構

• 田村 繁治

  大阪工業技術研究所

• 小川 倉一

  大阪府立産業技術総合研究所

• 吉竹 正明

  大阪府立産業技術総合研究所

• 野坂 俊紀

  大阪府立産業技術総合研究所

• 竹内 協子

  (株)アルバック・コーポレートセンター

• 酒井 創

  福島女子短期大学

• 小池 卓郎

  玉川大学工学部

• 川合 知二

  大阪大学産業科学研究所

• 田中 俊一郎

  科学技術振興事業団 田中固体融合プロジェクト

• 草野 英二

  金沢工業大学

• 安井 利明

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 藤村 喜久郎

  鳥取大学工学部

• 岡本 良雄

  (株)日立製作所機械研究所

• 村上 寛

  電子技術総合研究所

• 佐藤 義幸

  大阪工業技術研究所

• 加地 博子

  岡山理科大学工学部

• 吉森 昭夫

  岡山理科大学

• 日比野 豊

  (株)イオン工学研究所

• 平山 孝人

  学習院大学理学部

• 加藤 正明

  群馬工業高等専門学校

• 北河 勝

  金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター

• 佐藤 彰繁

  金沢工業大学 高度材料科学研究開発センター

• 徐 國春

  (株)イオン工学研究所

• 今西 幸男

  奈良先端科学技術大学院大学

• 鈴木 泰雄

  (株)イオン工学研究所

• 田畑 仁

  大阪大学産業科学研究所

• 桜井 誠

  分子科学研究所

• 棚橋 克人

  大阪府立大学先端科学研究所

• 安達 俊

  学習院大学理学部

• 辻 泰

  (株)アルバック・コーポレートセンター

• 秋道 斉

  (株)アルバック・コーポレートセンター

• 田中 智成

  (株)アルバック・コーポレトーセンター

• 谷原 正夫

  (株)イオン工学研究所

• 中島 秀文

  玉川大学工学部

• 横山 哲志

  玉川大学工学部

• 大越 康宏

  福島女子短期大学

• 杉山 渉

  秋田大学工学資源学部

• 鈴木 晶雄

  大阪産業大学工学部電子情報通信工学科

• 松下 辰彦

  大阪産業大学工学部電子情報通信工学科

• 本島 修

  核融合科学研究所

• 大熊 春夫

  理化学研究所

• 林 智広

  早稲田大学各務記念材料技術研究所

• 山内 大輔

  横浜国立大学工学部知能物理工学科

• 金子 英司

  東洋大学工学部

• 井上 幸二

  大阪府立産業技術総合研究所

• 加藤 茂樹

  高エネルギー加速器研究機構

• 久保 和也

  北海道大学工学部

• 鈴木 晶雄

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 坂本 吉亮

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 和田 直己

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 奥田 昌宏

  大阪府立大学工学部電子物理工学科

• 松下 辰彦

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• KOBAYASHI Yasuhiro

  川崎製鉄(株)技術研究所

• 鈴木 弘

  川崎製鉄(株)鉄鋼研究所

• 大久保 浩

  日本真空技術(株)産業機器事業部

• 井口 政夫

  川崎製鉄(株)技術研究所

• 斎藤 和雄

  名古屋工業技術研究所

• 筧 芳治

  大阪府立産業技術総合研究所

• 水谷 五郎

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科

• 鈴木 芳生

  日立製作所中央研究所

• 清水 肇

  電子技術総合研究所

• 平岩 秀行

  日本真空技術(株)産業機器事業部

• 四谷 任

  (財)大阪科学技術センター

• 山本 陽一

  日本電子株式会社

• 柴田 明

  福井工業高等専門学校

• 畑村 洋太郎

  東京大学工学部

• 笠原 章

  金属材料技術研究所

• 吉原 一紘

  金属材料技術研究所

• 嘉藤 誠

  日本電子株式会社

• 境 悠治

  日本電子株式会社

• 木内 正人

  大阪大学大学院工学研究科原子分子イオン制御理工学センター

• 高草木 達

  東京大学大学院理学系化学専攻

• 辻 博司

  京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻

• 小林 哲彦

  大阪工業技術研究所

• 安藤 昌儀

  大阪工業技術研究所

• 福谷 克之

  東京大学生産技術研究所

• 張 小威

  高エネルギー加速器研究機構

• 広畑 優子

  北海道大学大学院工学研究科

• 上田 新次郎

  株式会社日立製作所機械研究所

• 石川 雄一

  株式会社日立製作所機械研究所

• 斎藤 一也

  日本真空技術株式会社

• 土佐 正弘

  金属材料技術研究所

• 関根 重幸

  電子技術総合研究所

• 本間 芳和

  NTT基礎技術総合研究所

• 佐藤 幸恵

  日本真空技術(株)筑波超材研

• 梅咲 則正

  大阪工業技術研究所光機能材料部

• 黒河内 智

  理化学研究所

• 渡部 秀

  理化学研究所

• 本間 禎一

  千葉工業大学工学部

• 赤石 憲也

  核融合科学研究所

• 木内 正人

  大阪工業技術研究所

• 美本 和彦

  大阪大学大学院工学研究科超高温理工学研究施設

• 松本 貴士

  大阪大学大学院工学研究科超高温理工学研究施設

• 岩澤 康裕

  東京大学大学院理学研究科

• 岸本 俊二

  高エネルギー加速器機構・物質構造科学研究所

• 岡野 達雄

  東京大学生産技術研究所

• 張 小威

  高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所

• 小島 昭

  群馬工業高等専門学校

• 戸坂 亜希

  学習院大学理学部

• 五十嵐 慎一

  学習院大学理学部

• 神戸 美雪

  学習院大学理学部

• 阿部 雪子

  学習院大学理学部

• 入江 泰雄

  学習院大学理学部

• 西岡 泰城

  テキサスインスツルメント筑波研究開発センター

• 佐藤 吉博

  高エネルギー加速器研究機構

• 佐久間 泰

  ダイゴールド株式会社

• 安 東秀

  早稲田大学応用物理学科

• 加藤 隆男

  株式会社荏原総合研究所精密電子研究所

• 高木 祥示

  東邦大学理学部

• 吉信 達夫

  大阪大学産業科学研究所

• 岩崎 裕

  大阪大学産業科学研究所

• 柿原 和久

  高エネルギー加速器研究機構

• 松尾 二郎

  京都大学工学研究科附属量子理工学研究実験センター

• 関 整爾

  日本真空技術株式会社

• 関口 敦

  日電アネルバ

• 久保田 雄輔

  核融合科学研究所

• 石川 一政

  千葉工業大学精密機械工学科

• 斉藤 芳男

  高エネルギー物理学研究所

• 永井 康睦

  日立電線(株)システムマテリアル研究所

• 菊地 直人

  金沢工業大学AMS R&D C

• 櫻井 利夫

  東北大学金属材料研究所

• 岸田 悟

  鳥取大学工学研究科電気電子工学専攻

• 板倉 明子

  金属材料技術研究所

• 清水 達夫

  テキサスインスツルメント筑波研究開発センター

• 市川 昌和

  アトムテクノロジー研究体

• 大谷 和男

  大阪工業技術研究所

• 中川 行人

  日電アネルバ株式会社研究開発本部

• 奥野 和彦

  東京都立大学理学部

• 奥野 和彦

  東京都立大学

• 清水 宏

  電気通信大学

• 後藤 哲二

  東邦大学理学部

• 大塚 康二

  サンケン電気

• 田中 武

  広島工業大学

• 矢部 勝昌

  北海道工業技術研究所

• 大谷 茂樹

  科学技術庁 無機材質研究所

• 永山 勝也

  Miyagi National College Of Technology

• 久保 富夫

  高エネルギー加速器研究機構

• 山田 公

  京都大学工学部附属イオン工学実験施設

• 川畑 敬志

  広島工業大学

• 井藤 浩志

  早稲田大学応用物理学科

• 川崎 豊誠

  早稲田大学応用物理学科

• 渡部 徹

  鳥取大学工学部電気電子工学科

• 安本 正人

  大阪工業技術研究所

• 中野 博彦

  (株)サムコインターナショナル研究所

• 立田 利明

  (株)サムコインターナショナル研究所

• 大島 忠平

  早稲田大学応用物理学科

• 南戸 秀仁

  金沢工業大学

• 沖村 邦雄

  東海大学電子工学科

• 福田 茂樹

  高エネルギー加速器研究機構

• 穴見 昌三

  高エネルギー物理学研究所

• 林 和孝

  三菱電機通信機製作所

• 中山 正昭

  大阪市立大学大学院 工学研究科電子情報系専攻 応用物理学講座

• 井上 成美

  防衛大学校

• 柏原 茂

  防衛大学校

• 尾崎 立哉

  防衛大学校

• 戸嶋 成忠

  防衛大学校

• 吉田 貞史

  電子技術総合研究所

• 浅野 清光

  高エネルギー加速器研究機構

• 阿川 義昭

  日本真空技術(株)

• 工藤 勲

  電子技術総合研究所

• 岩本 和之

  鳥取大学工学部

• 小林 信一

  埼玉大学

• 見附 孝一郎

  分子科学研究所

• 日置 亜也子

  大阪府立産業技術総合研究所

• 柿原 和久

  高エネルギー物理学研究所

• 山口 良隆

  東京大学大学院理学系化学専攻

• 吉川 貴文

  大阪大学大学院工学研究科超高温理工学研究施設

• 寺井 真之

  早稲田大学

• 高橋 直樹

  日本真空技術(株)

• 荒井 孝夫

  (株)アルバック・コーポレトーセンター

• 浜松 諭子

  学習院大学理学部

• 羽山 彰

  学習院大学理学部

• 小林 信一

  埼玉大学工学部電気電子システム工学科

• 菊池 通真

  大阪府立大学先端科学研究所

• 橋場 正男

  北海道大学工学部

• 山科 俊郎

  北海道大学工学部

• 潮田 資勝

  北陸先端科学技術大学院大学

• 池田 省三

  金属材料技術研究所

• 蟹江 壽

  東京理科大学

• 魚田 雅彦

  高エネルギー加速器研究機構

• 宮崎 俊彦

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科

• 広畑 優子

  北海道大学工学部

• 早川 和延

  北海道大学触媒化学研究センター

• 正木 満博

  高輝度光科学研究センター

• 高橋 研

  東北大学大学院工学研究科

• 小原 宏之

  玉川大学工学部

• 野口 正俊

  玉川大学工学部

• 小越 康弘

  福島女子短期大学

• 田中 英樹

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科

• 脇本 裕之

  北陸先端科学技術大学院大学材料科学研究科

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著作論文

• ストレート型のWカソード使用による中空陰極法のコーティング条件とTiN膜質
• ストレート型のWカソード使用によるホローカソード放電コーティング条件とTiN膜質
• 連続イオンプレーティング装置で形成したTiN薄膜の予熱処理による密着性向上
• 連続イオンプレーティング装置の差圧気密機構
• 中空陰極法を用いてコーティングしたTiNおよびTi膜のバルジ成形加工後のクラックおよび耐食性
• 中空陰極放電イオンプレーティング装置を用いてコーティングしたTiNおよびTi膜のバルジ成形加工後のクラックの相違
• 連続プラズマコーティングラインのコーティング装置
• 連続プラズマコーティングラインの予熱装置
• 連続プラズマコーティングラインの差圧装置
• 水平一体型大電流電子ビームガン中のTaカソードと集束コイルとの間にグラファイト円筒を挿入することに異常放電の防止
• 水平一体型の大電流イオンプレーティング装置中の活性化ノズル使用によるTiN膜質の変化
• 水平一体型の大電流電子ビーム装置の蒸発物移動経路上の集束コイル配置によるTiNの成膜速度と膜質の変化(中空陰極法に関する第4報)
• 水平一体型の大電流プラズマ電子ビームガンの蒸発物移動経路上の集束コイル配置によるTiNの成膜速度と膜質の変化
• 水平一体型大電流電子銃の磁場分布とコンピュータによる磁場計算(中空陰極法に関する第3報)
• 水平一体型大電流電子ビーム装置の開発と連続コーティングによるTiN膜質(中空陰極法に関する第2報)
• サマリー・アブストラクト
• サマリー・アブストラクト
• サマリー・アブストラクト

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