中空陰極放電イオンプレーティング装置を用いてコーティングしたTiNおよびTi膜のバルジ成形加工後のクラックの相違
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概要
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- 1998-03-20
著者
-
鈴木 一弘
川崎製鉄株式会社技術研究所
-
井口 征夫
川崎製鉄株式会社技術研究所
-
井口 征夫
川崎製鉄(株)技術研究所
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鈴木 一弘
川崎製鉄(株)技術研究所
-
高橋 夏木
日本真空技術(株)産業機器事業部
-
大久保 治
日本真空技術(株)産業機器事業部
-
井口 征夫
川崎製鉄(株)技研
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