プラズマコーティング手法によるTiN膜質の比較(中空陰極法に関する第1報)

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1995-07-20

著者

• 鈴木 一弘

  川崎製鉄株式会社技術研究所

• 井口 征夫

  川崎製鉄(株)技術研究所

• 鈴木 一弘

  川崎製鉄(株)技術研究所

• 大久保 治

  日本真空技術(株)産業機器事業部

• 井口 征夫

  川崎製鉄(株)技研

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