水平一体型の大電流プラズマ電子ビームガンの蒸発物移動経路上の集束コイル配置によるTiNの成膜速度と膜質の変化
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概要
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- 1995-09-20
著者
-
鈴木 一弘
川崎製鉄株式会社技術研究所
-
井口 征夫
川崎製鉄(株)技術研究所
-
鈴木 一弘
川崎製鉄(株)技術研究所
-
高橋 夏木
日本真空技術(株)産業機器事業部
-
大久保 治
日本真空技術(株)産業機器事業部
-
小林 康宏
川崎製鉄(株)技術研究所
-
井口 征夫
川崎製鉄(株)技研
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