大電流中空陰極法を用いたイオンプレーティングによる高速成膜

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 2001-04-20

著者

• 井口 征夫

  川崎製鉄株式会社技術研究所

• 井口 征夫

  川崎製鉄(株)技研

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