イオンプレーティングTiN被覆一方向性珪素鋼板の磁気特性とTiN膜質の変化:プラズマ発生法による相違

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1999-09-20

著者

• 鈴木 一弘

  川崎製鉄株式会社技術研究所

• 井口 征夫

  川崎製鉄株式会社技術研究所

• 井口 征夫

  川崎製鉄(株)技術研究所

• 鈴木 一弘

  川崎製鉄(株)技術研究所

• 井口 征夫

  川崎製鉄(株)技研

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