平田 和男 | 日電アネルバ(株)

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• 平田 和男

  日電アネルバ(株)

• 細川 直吉

  日電アネルバ株式会社

• 細川 直吉

  アネルバ株式会社

• 細川 直吉

  日電アネルバ

• 宮坂 洋一

  NEC基礎研究所

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• 長谷 卓

  NEC基礎研究所

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  Nec 基礎研

• 佐久間 敏幸

  日本電気(株)

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• 石橋 啓次

  キヤノンアネルバ株式会社 エレクトロンデバイス装置事業部

• 石橋 啓次

  日電アネルバ(株)

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著作論文

• マルチターゲットスパッタ法による Pb(Zr,Ti)O_3 強誘電体薄膜の作製とその評価
• 多元同時スパッタリング法によるY_1Ba_2Cu_3O_y薄膜の作製

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