多元同時スパッタリング法によるY_1Ba_2Cu_3O_y薄膜の作製
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概要
著者
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平田 和男
日電アネルバ(株)
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細川 直吉
日電アネルバ株式会社
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細川 直吉
アネルバ株式会社
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石橋 啓次
キヤノンアネルバ株式会社 エレクトロンデバイス装置事業部
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石橋 啓次
日電アネルバ(株)
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細川 直吉
日電アネルバ
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