高真空平板マグネトロン放電の開発
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概要
著者
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麻蒔 立男
東京理科大学・工学部
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麻蒔 立男
東京理科大学工学部電気工学科
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麻蒔 立男
東京理科大学工学部・電気工学科
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三浦 勉
東京理科大学工学部電気工学科
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細川 直吉
日電アネルバ株式会社
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細川 直吉
アネルバ株式会社
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米内山 誠吾
東京理科大学工学部
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石橋 啓次
キヤノンアネルバ株式会社 エレクトロンデバイス装置事業部
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石橋 啓次
日電アネルバ(株)
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中村 言
東京理科大学工学部
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保立 浩一
東京理科大学工学部
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細川 直吉
日電アネルバ
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