磁石内蔵形マグネトロン真空計
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2000-03-20
著者
-
麻蒔 立男
東京理科大学・工学部
-
麻蒔 立男
東京理科大学工学部電気工学科
-
麻蒔 立男
東京理科大学工学部・電気工学科
-
高橋 明久
東京理科大学工学部電気工学科
-
高橋 明久
東京理科大学工学部・電気工学科
関連論文
- 電界制御熱陰極マグネトロン真空計の開発
- 高真空スパッタによる微細孔の埋込
- 磁石内蔵形正マグネトロン真空計
- 磁石内蔵形マグネトロン真空計
- 電界制御熱陰極マグネトロン真空計
- 電界制御熱陰極マグネトロン真空計のイオンコレクタ電極間距離
- 卵形冷陰極マグネトロン真空計の研究
- 磁石内蔵形冷陰極逆マグネトロン真空計の最適化
- セルフスパッタ・リフローによる微細孔の埋込
- 高真空平板マグネトロン放電の開発
- 磁石内蔵形冷陰極逆マグネトロン真空計の最適化
- 制御電極による2極スパッタの放電々流の制御(I) : 薄膜
- スパッタされた原子の飛跡
- 銅のセルフスパッタとその埋込み特性
- 直流二極スパッタの制御電極による制御
- サマリー・アブストラクト