林 俊雄 | 日本真空技術(株)技術開発部

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概要

• 林 俊雄の詳細を見る
• 同名の論文著者
• 日本真空技術(株)技術開発部の論文著者

関連著者

• 林 俊雄

  日本真空技術(株)技術開発部

• 林 俊雄

  名古屋大学プラズマナノ工学研究センター

• 小宮 宗治

  日本真空技研

• 高橋 直樹

  株式会社アルバック

• 辻 泰

  株式会社アルバック

• 秋道 斉

  産業技術総合研究所計測標準研究部門

• 高橋 直樹

  日本真空技術(株)

• 辻 泰

  (株)アルバック・コーポレートセンター

• 辻 泰

  (株)アルバックコーポレートセンター

• 高橋 直樹

  株式会社 アルバック

• 美馬 宏司

  大阪市立大学

• 村上 寛

  電子技術総合研究所

• 陳 巍

  日本真空技術(株)半導体技術研究所

• 内田 岱二郎

  日本真空技術(株)半導体技術研究所

• 内田 岱二郎

  日本真空技術

• 戸田 義継

  電子技術総合研究所

• 小野 雅敏

  電子技術総合研究所

• 塚越 修

  日本真空技術(株)技術開発部

• 国分 清秀

  電子技術総合研究所

• 平田 正紘

  電子技術総合研究所

• 石丸 肇

  高エネルギー物理学研究所

• 村上 義夫

  日本原子力研究所

• 伊藤 正博

  日本真空技術株式会社

• 平松 成範

  高エネルギー物理学研究所

• 関口 敦

  日電アネルバ

• 秋道 斉

  日本真空技術(株)

• 秋道 斉

  (株)アルバック・コーポレートセンター

• 竹内 協子

  (株)アルバック・コーポレートセンター

• 一村 信吾

  電子技術総合研究所

• 小原 建治郎

  日本原子力研究所

• 兼松 太

  大阪市立大学工学部

• 小林 正典

  高エネルギー加速器研究機構

• 太田 賀文

  日本真空技術株式会社

• 水野 元

  高エネルギー加速器研究機構(KEK)

• 百瀬 丘

  高エネルギー物理学研究所

• 中村 久三

  日本真空技術(株) 千葉超材研

• 山田 太起

  日本真空技術(株)超材料研究所

• 成島 勝也

  高エネルギー物理学研究所

• 山川 洋幸

  日本真空技術

• 堀越 源一

  高エネルギー物理学研

• 赤石 憲也

  名古屋大学プラズマ研究所

• 小宮 宗治

  日本真空技術(株)

• 渡部 広美

  高エネルギー物理学研究所

• 八木 邦夫

  大阪市立大学工学部

• 茂原 利男

  (株)真空電子

• 山科 俊郎

  北海道大学

• 阿部 哲也

  日本原子力研究所

• 辻 泰

  東京大学生産技術研究所

• 伊藤 昭夫

  日本真空技術 (株) 超材料研究所

• 渡辺 文夫

  桜の聖母学院高校

• 尾浦 憲治郎

  大阪大学工学部

• 籠田 和徳

  佐賀大学理工学部

• 西村 秀紀

  福岡大学理学部

• 加藤 敏郎

  名古屋大学工学部

• 清水 肇

  電子技術総合研究所

• 浦野 俊夫

  神戸大学工学部

• 川田 正国

  電子技術総合研究所

• 越川 孝範

  大阪電気通信大学

• 岡野 達雄

  東京大学生産技術研究所

• 柳下 浩二

  日本真空技術株式会社

• 山川 洋幸

  日本真空技術株式会社

• 矢部 勝昌

  北海道工業技術研究所

• 後藤 敬典

  名古屋工業大学

• 桜井 利夫

  東京大学物性研究所

• 久保 富夫

  高エネルギー加速器研究機構

• 森川 泰宏

  (株)アルバック・半導体電子技術研究所

• 鈴木 正昭

  北海道工業開発試験所

• 松森 徳衛

  東海大学工学部電子工学科

• 前田 高雄

  東京理科大学工学部電気工学科

• 森川 泰宏

  日本真空技術(株)半導体技術研究所

• 安沢 慎児

  日本真空技術(株)半導体技術研究所

• 坪井 秀夫

  日本真空技術株式会社

• 町田 和雄

  電子技術総合研究所

• 岩田 敏彰

  電子技術総合研究所

• 栗田 康雄

  (株)東芝

• 本田 登志雄

  (株)東芝

• 黒川 裕次郎

  日本真空技術株式会社

• 伊藤 昭夫

  日本真空技術(株)

• 前田 高雄

  東京理科大学工学部

• 橋場 正男

  北海道大学工学部

• 増田 俊雄

  名古屋大学全学技術センター工学技術系

• 古屋 貴章

  高エネルギー加速器研究機構

• 尾崎 知幸

  鳥取大学工学部

• 宇佐美 誠二

  横浜国立大学工学部

• 鳳 紘一郎

  電子技術総合研究所

• 小貫 英雄

  電子技術総合研究所

• 石原 永伯

  鳥取大学工学部

• 西守 克己

  鳥取大学工学部

• 玉川 孝一

  日本真空技術・筑波半技研

• 加藤 益

  鳥取大学工学部

• 宗村 哲雄

  東京理科大学工学部電気工学科

• 高橋 弓弦

  大阪府立工業技術研究所

• 小西 亮介

  鳥取大学工学部

• 水谷 直樹

  日本真空技術(株)技術開発部

• 下村 安夫

  日本原子力研究所

• 金持 徹

  神戸大学工学部

• 生田 孝

  大阪電気通信大学

• 藤井 光廣

  長崎総合科学大学工学部

• 清水 三郎

  日本真空技術

• 清水 三郎

  日本真空技術株式会社

• 久保田 雄輔

  名古屋大学プラズマ研

• 塙 輝雄

  大阪大学工学部

• 高木 憲一

  日本真空技術

• 李 日昇

  大阪電気通信大学工学部応用電子工学科,エレクトロニクス基礎研究所

• 金戸 成

  (株)大阪真空機器製作所

• 水野 元

  高エネルギー物理学研究所

• 中村 和幸

  日本原子力研究所

• 小野 義正

  株式会社日立製作所日立研究所

• 川上 章

  日立マクセル(株)リチウムイオン電池事業部

• 渡辺 文夫

  桜の聖母学院高等学校

• 清田 哲司

  日本真空技術(株)

• 磯貝 秀明

  電子技術総合研究所

• 斎藤 駿次

  日立製作所茂原工場

• 鈴木 行男

  日立製作所茂原工場

• 荒川 一郎

  東京大学生産技術研究所

• 金 文沢

  東京大学生産技術研究所

• 石田 哲夫

  日電アネルバ

• 鈴木 基行

  名古屋大学プラズマ研究所

• 小川 倉一

  大阪府立工業技術研究所

• 滝口 勝美

  大阪府立工業技術研究所

• 山口 博司

  高エネルギー物理学研究所

• 田村 富士夫

  セイコー電子部品KK

• 大崎 明彦

  東京大学生産技術研究所

• 平間 仁章

  日電アネルバ (株)

• 村上 俊一

  日電アネルバ (株)

• 釣田 幸雄

  名古屋大学工学部原子核工学科

• 石川 和幸

  名古屋大学工学部原子核工学科

• 大岩 恒美

  日立マクセル (株)

• 大石 健司

  横浜国立大学工学部

• 斉藤 茂

  東京理科大学

• 久保 圭司

  大阪市立大学工学部

• 藤岡 俊昭

  日本真空技術株式会社

• 杉浦 英雄

  日本電信電話公社 茨城電気通信研究所

• 山口 真史

  日本電信電話公社 茨城電気通信研究所

• 渋川 篤

  日本電信電話公社 茨城電気通信研究所

• 徳高 平蔵

  鳥取大学工学部

• 中村 久三

  日本真空技術(株)超材料研究所

• 四谷 任

  大阪府立工業技術研究所

• 柳下 浩二

  日本真空技術

• 柳下 浩二

  日本真空技術(株)

• 楠本 淑郎

  日本真空技術株式会社

• 及川 永

  (株)大阪真空機器製作所

• 奥野 公夫

  長崎総合科学大学大学院電子情報学専攻

• 大輪 清昇

  日本真空技術

• 高島 克己

  鳥取大学工学部電子工学科

• 府山 盛明

  株式会社日立製作所日立研究所

• 田村 克

  株式会社日立製作所日立研究所

• 新井 明男

  神戸大学工学部応用物理

• 金内 明宏

  名古屋大学工学部原子核工学科

• 廣野 征陵

  日本真空技術 (株)

• 小宮 宗治

  日本真空技術 (株)

• 西守 克己

  鳥取大学工学部電子工学科

• 酒井 純朗

  日電アネルバ (株)

• 浦野 俊夫

  神戸大学工学部応用物理

• 細川 直吉

  日電アネルバ

• 尾崎 知幸

  鳥取大学工学部電子工学科

• 石川 和幸

  名古屋大学原子核工学教室

• 美馬 宏司

  大阪市立大学工学部

• 桑原 和広

  日本真空技術 (株)

• 越川 孝範

  大阪電気通信大学工学部

• 徳高 平蔵

  鳥取大学工学部電子工学科

• 西田 啓一

  大阪酸素工業 (株) 中央研究所

• 小原 建治郎

  日本原子力研究所那珂研究所

• 生地 文也

  大阪大学工学部

• 清田 哲司

  日本真空技術 (株)

• 佐竹 徹

  北海道大学工学部

• 久保 富夫

  高エネルギー物理学研究所

• 塩山 忠義

  大阪府立工業技術研究所

• 中西 弘

  高エネルギー物理学研究所

• 加藤 益

  鳥取大学工学部電子工学科

• 久保田 雄輔

  名古屋大学プラズマ研究所

• 大輪 清昇

  日本真空技術 (株)

• 広木 成治

  日本原子力研究所

• 雨宮 進

  名古屋大学原子核工学教室

• 毛利 衛

  北海道大学工学科

• 高島 克己

  鳥取大学工学部

• 関口 敦

  日電アネルバ株式会社

• 山本 純也

  大阪大学低温センター

• 橋場 正男

  北海道大学工学科

• 三戸 英夫

  日電アネルバ (株)

• 小西 亮介

  鳥取大学工学部電子工学科

• 谷 典明

  日本真空技術 (株) 超材料研究所

• 小原 建治郎

  日本原子力研究所核融合研究センター

• 三角 明

  日立製作所

• 蒲生 孝治

  松下電器産業 (株) 中央研究所

• 牧田 雄之助

  電子技術総合研究所

• 河野 政裕

  鳥取大学工学部電子工学科

• 神田 英一

  鳥取大学工学部電子工学科

• 関 利徳

  鳥取大学工学部電子工学科

• 加藤 勲

  島津製作所

• 宮田 美模

  鳥取大学工学部電子工学科

• 柳 常義

  鳥取大学工学部電子工学科

• 伊藤 公治

  鳥取大学工学部電子工学科

• 北條 久男

  セイコー電子工業(株)

• 京極 英明

  セイコー電子工業(株)

• 山本 昌宏

  セイコー電子工業(株)

• 阿部 正一

  (株)長野計器製作所

• 小畑 栄治

  名古屋大学工学部原子核工学科

• 市村 健一

  日電アネルバ株式会社

• 野間 弘二

  日電アネルバ株式会社

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著作論文

• 低圧, 高密度NLDプラズマと有機Low-kエッチングプロセス
• 4. 磁気中性線放電 (NLD) プラズマ : プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断 IV
• 磁気中性線放電プラズマによるSiO2膜の高速エッチング
• エネルギーフィルター付き四極子形質量分析計の評価
• 直流測定型広帯域電離真空計の諸特性
• エネルギーフィルター付き四極子形質量分析計の開発
• 極高真空用真空計(AT Gauge)の特性向上-残留電流の低減と感度の向上-
• ヘリウムリークディテクター用磁場偏向型質量分析管の開発
• プラズマエッチング装置の高周波バイアス電極におけるイオンエネルギー分布
• 磁気中性線放電プラズマ(II)-酸化膜エッチングへの応用-
• 超高真空的配慮がなされたMOCVD装置の開発(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
• アブストラクト
• アブストラクト
• 光イオン化質量分析-ラジカルの検出-
• アブストラクト
• 超高真空的配慮がなされたMOCVD装置の開発(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)

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