極高真空用真空計(AT Gauge)の特性向上-残留電流の低減と感度の向上-
スポンサーリンク
概要
著者
-
林 俊雄
名古屋大学プラズマナノ工学研究センター
-
林 俊雄
日本真空技術(株)技術開発部
-
辻 泰
株式会社アルバック
-
秋道 斉
産業技術総合研究所計測標準研究部門
-
辻 泰
(株)アルバック・コーポレートセンター
-
秋道 斉
(株)アルバック・コーポレートセンター
-
竹内 協子
(株)アルバック・コーポレートセンター
-
黒川 裕次郎
日本真空技術株式会社
-
辻 泰
(株)アルバックコーポレートセンター
-
林 俊雄
日本真空技術
関連論文
- 6. MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)製造プロセスにおけるフルオロカーボンプラズマ(材料プロセス用フルオロカーボンプラズマ-現状と展望-)
- 磁気中性線放電(NLD)プラズマによるエッチング技術
- 四極子形質量分析計のイオン源グリッド表面から放出された電子励起脱離イオン : 脱離イオン種と圧力依存性
- 軸対称透過形電離真空計の感度係数のばらつきと安定性
- 磁気中性線放電（NLD）プラズマによるエッチング技術
- NLDプラズマによる光デバイス材料のエッチング技術 (特集 オプトエレクトロニクスの最新成果を追う)
- 低圧, 高密度NLDプラズマと有機Low-kエッチングプロセス
- 4. 磁気中性線放電 (NLD) プラズマ : プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断 IV
- 磁気中性線放電プラズマによるSiO2膜の高速エッチング
- VACUUM2009第31回真空展の報告
- 規格標準報告会「ISO/TC112東京総会の報告とこれからの規格化計画」
- VACUUM2008第30回真空展の報告
- 第3回規格標準報告会について
- VACUUM2007第29回真空展の報告
- 真空計の比較校正方法の規格について
- エネルギーフィルター付き四極子形質量分析計の評価
- 直流測定型広帯域電離真空計の諸特性
- 軸対称透過形電離真空計の感度係数の経時変化とその補正法
- エネルギーフィルター付き四極子形質量分析計の開発
- Bessel-Box形エネルギーフィルターを用いた極高真空用電離真空計-Axial-Symmetric Transmission Gauge(ATゲージ)-
- 極高真空用真空計(AT Gauge)の特性向上-残留電流の低減と感度の向上-
- エネルギー・フィルター付き電離真空計-イオン化室の形状効果-
- エネルギー・フィルター付き電離真空計の小型化
- Bessel-Box 型エネルギー分析器を用いた電離真空計の試作
- 5p-W-12 金, 銀, 銅島状薄膜の分光偏光解析法による測定
- 金島状膜の分光偏光解析 (第29回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- 軸対称透過形電離真空計における外部入射電子・イオンによる影響の除去特性
- ヘリウムリークディテクター用磁場偏向型質量分析管の開発
- 冷凍機分離型ベーカブル・クライオポンプの水素排気特性の測定
- VACUUM2010第32回真空展の報告
- 日本真空技術株式会社技術開発部エッチング装置研究開発グループ
- ステンレス鋼表面への水分子の吸着
- 指向性質量分析計による水分子の昇温脱離スペクトルの測定-質量分析計の感度校正-
- ステンレス鋼製真空容器における水分子の吸着-付着確立の測定による研究-
- チタン・ゲッタ・ポンプの水素排気特性-収着量依存性-
- 真空容器内表面における水分子の付着確率-表面処理の影響-
- 超高真空におけるチタンゲッタポンプ排気特性の温度依存性
- ステンレス鋼製真空容器内表面への水分子の付着確率
- 気体放出速度測定に及ぼす排気速度の影響
- レーザー誘起昇温離脱による真空容器脱ガス過程の観察
- クライオポンプの到達圧力付近における水素排気特性
- 飛行時間測定法によるW(100)表面からのH+の電子励起脱離の研究 (第29回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- 研究速報 : 超高真空用低温マニピュレーター
- プラズマエッチング装置の高周波バイアス電極におけるイオンエネルギー分布
- 鏡面反射成分を考慮したオリフィス通過確率のモンテカルロシミュレーション
- 磁気中性線放電プラズマ(II)-酸化膜エッチングへの応用-
- 超高真空的配慮がなされたMOCVD装置の開発(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- VACUUM2010第32回真空展の報告
- 膨張法による新しい中真空標準と真空計の校正
- 真空技術発展の途を探る : 9. ピラニ真空計を高真空で使う
- 真空技術発展の途を探る 6. 電離真空計の残留電流と逆 X線効果
- 真空技術発展の途を探る電離真空計の発振現象の検討
- 真空技術発展の道を探る 1.1919年の真空計の論文を読む
- 真空技術発展の途を探る : 11. 真空の教科書 ; 私の1950年代
- 真空技術発展の途を探る : 10. ガラス細工の周辺
- 真空技術発展の途を探る : 8. 昇温脱離法スタートの頃
- 真空技術発展の途を探る : 7.真空ポンプの排気速度測定とテストドーム
- 真空技術発展の途を探る 3. 真空装置の中の水に気付いたのは誰か? (2) 質量分析計の応用
- 真空技術発展の途を探る 3.真空装置の中の水に気付いたのは誰か?(1)Toplerポンプの頃
- 真空技術発展の途を探る 2.Blears効果を知っていますか?
- サマリー・アブストラクト
- サマリー・アブストラクト
- 金島状膜の分光偏光解析
- 励起中性粒子検出法を用いた小型指向性真空計の試作
- 指向性真空計による真空装置の漏れ検出 : 点状気体放出源の測定に関する解析
- 励起中性粒子検出法を用いた指向性真空計の研究
- 研究解説 : 気体凝縮層によるクライオソープション･ポンピング
- 飛行時間測定法によるW (100) 表面からのH+の電子励起脱離の研究
- VACUUM2010第32回真空展の報告
- アブストラクト
- アブストラクト
- 真空用材料における水素の透過と吸収に及ぼす解離吸着の効果について
- 光イオン化質量分析-ラジカルの検出-
- 第50回真空夏季大学開催報告
- 真空計とその標準に関するアンケート(速報)
- 変調電極付きBayard-Alpert型電離真空計の負電圧変調特性
- アブストラクト
- VACUUM2011-真空展の報告
- プログラム委員会 (第6回真空科学国際会議・第2回固体表面国際会議(特集)) -- (委員会報告)
- 第5回真空科学国際会議に出席して
- 真空計測における熱フィラメントの影響
- 極低圧における混合気体の物理吸着
- 電離真空計による水素の圧力の測定
- 真空技術の基礎 (真空技術・最近の進歩)
- 真空装置内吸着現象の研究法としてのThermal Desorptionについて
- 真空中のガラス表面および油膜への水蒸気の収着
- 真空装置の排気における水蒸気の物理吸着の影響
- タングステン表面への窒素の吸着に及ぼす電離真空計の影響
- グリースレスコックのエージング効果
- 超高真空的配慮がなされたMOCVD装置の開発(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- 分子軌道法を用いたプロセスプラズマへのアプローチ
- 2p-F4-3 分光偏光解析法によって観察したガラス下地上のAu島状膜の評価(表面・界面)
- 2p-K3-1 分子線源装置の試作(表面・界面)
- 2p-F4-4 偏光解析法による物理吸着層の観察(表面・界面)