クライオポンプの到達圧力付近における水素排気特性
スポンサーリンク
概要
著者
-
辻 泰
株式会社アルバック
-
竹内 協子
(株)アルバック・コーポレートセンター
-
黒川 裕次郎
日本真空技術株式会社
-
降矢 新治
アルバック・クライオ株式会社
-
黒川 裕次郎
株式会社アルバック・コーポレートセンター
-
竹内 協子
株式会社アルバック・コーポレートセンター
-
降矢 新治
アルパック・クライオ株式会社
-
森本 秀敏
アルパック・クライオ株式会社
-
森本 秀敏
アルバック・クライオ(株)
関連論文
- 四極子形質量分析計のイオン源グリッド表面から放出された電子励起脱離イオン : 脱離イオン種と圧力依存性
- 軸対称透過形電離真空計の感度係数のばらつきと安定性
- エネルギーフィルター付き四極子形質量分析計の評価
- 直流測定型広帯域電離真空計の諸特性
- 軸対称透過形電離真空計の感度係数の経時変化とその補正法
- エネルギーフィルター付き四極子形質量分析計の開発
- Bessel-Box形エネルギーフィルターを用いた極高真空用電離真空計-Axial-Symmetric Transmission Gauge(ATゲージ)-
- 極高真空用真空計(AT Gauge)の特性向上-残留電流の低減と感度の向上-
- エネルギー・フィルター付き電離真空計-イオン化室の形状効果-
- エネルギー・フィルター付き電離真空計の小型化
- Bessel-Box 型エネルギー分析器を用いた電離真空計の試作
- 金島状膜の分光偏光解析 (第29回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- 軸対称透過形電離真空計における外部入射電子・イオンによる影響の除去特性
- 蓄冷器分離型GM冷凍機を用いたベーカブルクライオポンプの開発
- 冷凍機分離型ベーカブル・クライオポンプの水素排気特性の測定
- ステンレス鋼表面への水分子の吸着
- 指向性質量分析計による水分子の昇温脱離スペクトルの測定-質量分析計の感度校正-
- ステンレス鋼製真空容器における水分子の吸着-付着確立の測定による研究-
- チタン・ゲッタ・ポンプの水素排気特性-収着量依存性-
- 真空容器内表面における水分子の付着確率-表面処理の影響-
- 超高真空におけるチタンゲッタポンプ排気特性の温度依存性
- ステンレス鋼製真空容器内表面への水分子の付着確率
- 気体放出速度測定に及ぼす排気速度の影響
- レーザー誘起昇温離脱による真空容器脱ガス過程の観察
- クライオポンプの到達圧力付近における水素排気特性
- 飛行時間測定法によるW(100)表面からのH+の電子励起脱離の研究 (第29回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- 研究速報 : 超高真空用低温マニピュレーター
- パルス管冷凍機の冷凍性能および冷凍温度安定性
- 真空技術発展の途を探る : 9. ピラニ真空計を高真空で使う
- 真空技術発展の途を探る 6. 電離真空計の残留電流と逆 X線効果
- 真空技術発展の途を探る電離真空計の発振現象の検討
- 真空技術発展の道を探る 1.1919年の真空計の論文を読む
- 真空技術発展の途を探る : 11. 真空の教科書 ; 私の1950年代
- 真空技術発展の途を探る : 10. ガラス細工の周辺
- 真空技術発展の途を探る : 8. 昇温脱離法スタートの頃
- 真空技術発展の途を探る : 7.真空ポンプの排気速度測定とテストドーム
- 真空技術発展の途を探る 3. 真空装置の中の水に気付いたのは誰か? (2) 質量分析計の応用
- 真空技術発展の途を探る 3.真空装置の中の水に気付いたのは誰か?(1)Toplerポンプの頃
- 真空技術発展の途を探る 2.Blears効果を知っていますか?
- サマリー・アブストラクト
- サマリー・アブストラクト
- 金島状膜の分光偏光解析
- 励起中性粒子検出法を用いた小型指向性真空計の試作
- 指向性真空計による真空装置の漏れ検出 : 点状気体放出源の測定に関する解析
- 励起中性粒子検出法を用いた指向性真空計の研究
- 研究解説 : 気体凝縮層によるクライオソープション･ポンピング
- 飛行時間測定法によるW (100) 表面からのH+の電子励起脱離の研究
- クライオポンプとクライオトラップの最近の発展
- クライオポンプのト-タル管理システム (次世代プロセスを支える半導体周辺材料・装置)
- 超高真空クライオポンプでの極高真空達成
- 真空用材料における水素の透過と吸収に及ぼす解離吸着の効果について
- 気体の凝縮を利用した超高真空ポンプ
- 変調電極付きBayard-Alpert型電離真空計の負電圧変調特性
- クライオポンプとともに30年
- プログラム委員会 (第6回真空科学国際会議・第2回固体表面国際会議(特集)) -- (委員会報告)
- 第5回真空科学国際会議に出席して
- 真空計測における熱フィラメントの影響
- 極低圧における混合気体の物理吸着
- 電離真空計による水素の圧力の測定
- 真空技術の基礎 (真空技術・最近の進歩)
- 真空装置内吸着現象の研究法としてのThermal Desorptionについて
- 真空中のガラス表面および油膜への水蒸気の収着
- 真空装置の排気における水蒸気の物理吸着の影響
- タングステン表面への窒素の吸着に及ぼす電離真空計の影響
- グリースレスコックのエージング効果
- 2p-F4-3 分光偏光解析法によって観察したガラス下地上のAu島状膜の評価(表面・界面)
- 2p-K3-1 分子線源装置の試作(表面・界面)
- 2p-F4-4 偏光解析法による物理吸着層の観察(表面・界面)