軸対称透過形電離真空計の感度係数のばらつきと安定性
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概要
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The deviation of the sensitivity factors for the axial-symmetric transmission gauge (AT gauge) were examined and compared with those for the B-A gauges and the extractor gauges. The calibrations were performed against nitrogen. The deviations for three types of gauges were about ±10%, nearly the same one another. The long-term variation of the sensitivity factor for two AT gauges was also examined. For one sensor, the sensitivity factor decreased 10% during initial two years operation while the factor stabilized within ±3% for the successive three years. The temperature dependence of the sensitivity factor is discussed for the data obtained in the stabilized period.
- 日本真空協会の論文
- 2008-06-20
著者
-
高橋 直樹
株式会社アルバック
-
荒川 一郎
学習院大学大学院自然科学研究科
-
湯山 純平
株式会社アルバック
-
辻 泰
株式会社アルバック
-
荒川 一郎
学習院大
-
Arakawa I
Department Of Physics Gakushuin University
-
Arakawa Ichiro
Department Of Physics Gakushuin University
-
荒川 一郎
学習院大学理学部
-
Arakawa I
Department Of Partial And Complete Denture School Of Life Dentistry At Tokyo The Nippon Dental Unive
-
荒川 一郎
学習院大学・理学部・物理教室
-
高橋 直樹
株式会社 アルバック
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