新鮮活性なカソード面を維持するスパッタイオンポンプ
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概要
著者
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高橋 直樹
株式会社アルバック
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小宮 宗治
アルバック・コーポレート・センター
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高橋 直樹
アルバック・コーポレート・センター真空基礎研究室
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徐 旻生
日本真空(株)技術開発部
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高橋 直樹
株式会社 アルバック
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