徐 旻生 | 日本真空(株)技術開発部

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概要

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• 同名の論文著者
• 日本真空(株)技術開発部の論文著者

関連著者

• 高橋 直樹

  株式会社アルバック

• 小宮 宗治

  アルバック・コーポレート・センター

• 徐 旻生

  日本真空(株)技術開発部

• 高橋 直樹

  株式会社 アルバック

• 徐 旻生

  日本真空技術株式会社

• 小宮 宗治

  株式会社アルバック・コーポレートセンター

• 高橋 直樹

  アルバック・コーポレート・センター真空基礎研究室

著作論文

• 円筒型マグネトロンスパッタイオンポンプによる極高真空の生成
• 円筒型マグネトロンスパッタイオンポンプのAr, CH_4, He, H_2に対する排気速度
• 新鮮活性なカソード面を維持するスパッタイオンポンプ

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