円筒型マグネトロンスパッタイオンポンプのAr, CH_4, He, H_2に対する排気速度
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概要
著者
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高橋 直樹
株式会社アルバック
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徐 旻生
日本真空技術株式会社
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小宮 宗治
株式会社アルバック・コーポレートセンター
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小宮 宗治
アルバック・コーポレート・センター
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徐 旻生
日本真空(株)技術開発部
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高橋 直樹
株式会社 アルバック
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