励起中性粒子検出法を用いた指向性真空計の研究
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概要
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An unidirectional vacuum gauge, which detects gas molecules coming from a certain direction in chaotic space, can be realised by means of detecting excited neutrals which are generated by electron impact. To eliminate photons and ions from detection was found to be effective measure in order to improve the performance of the gauge. The advantages of sharp directivity, small size, and high signal to background ratio were confirmed. The measured value of the gauge sensitivity is in good agreement with the expected one. This type of gauge, moreover, can measure the time of flight spectrum of gas molecules, that makes it possible to evaluate not only the anisotropy of molecular density in space but also the anisotropy and the nonequilibrium of molecular velocity distribution.
- 日本真空協会の論文
著者
-
辻 泰
株式会社アルバック
-
辻 泰
東京大学生産技術研究所第1部(元)
-
荒川 一郎
学習院大学理学部
-
荒川 一郎
東京大学生産技術研究所
-
金 文沢
東京大学生産技術研究所
-
辻 泰
東京大学生産技術研究所
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