高真空,超高真空における物理吸着の測定
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概要
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高真空,超高真空における物理吸着の研究は,真空工学の立場からも,吸着現象と表面の物理化学的研究の立場からも重要な問題である.しかし十分な精度で測定をおこなうためには,圧力の測定をはじめ,真空技術的に困難な点がたくさん残っている.現在では,極低圧領域において,吸着量と圧力の直線関係が成立せず,圧力10-10torr,吸着量109molec./cm2(単分子吸着層の10-6)程度までの範囲で,吸着はDubinin-Radushkevichの関係式にしたがうことが明らかにされている.
- 東京大学生産技術研究所,Institute of Industrial Science. University of Tokyo,東京大学生産技術研究所 第1部 真空工学の論文
- 1967-04-01
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