真空装置の排気における水蒸気の物理吸着の影響
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概要
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The effect of physical adsorption of water vapour on production of high vacuum was discussed.<BR>As the life time of water vapour adsorbed on lead borosilicate glass at 10<SUP>-6</SUP> Torr, 050°C is about 510 ×10<SUP>-4</SUP> sec, the adsorption very rapidly reaches an equilibrium condition. Henry's law is held in pressure region of 10<SUP>-6</SUP> Torr where Henry's constant (<I>k</I>) at 0°C and 25°C are 1520 and 47 respectively. Effective volume of the apparatus increases to V+<I>k</I>A by the physical adsorption, where V and A are volume and real surface area of inner wall of the apparatus.
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