二次電子増倍板付きLEED装置の歪補正に用いる非球面グリッドの解析

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概要

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• A design of non-spherical grid structure for the distortion-free LEED apparatus with a micro channel plate (MCP) is described. The grid structure is assumed as an interface of two electrostatic potentials. The potential interface refracts the diffracted electrons and the LEED patterns can be projected on the MCP just like those observed on a spherical fluorescent screen. The shape of the potential interface is described by a differential equation and numerically calculated for several conditions. The most appropriate geometry is determined by the easiness of the mechanical construction. The effect of energy distribution of diffracted electrons is numerically estimated and the deviation is proved to be negligibly small for most applications.

• 日本真空協会の論文

著者

• 岡野 達雄

  東京大学生産技術研究所

• 辻 泰

  東京大学生産技術研究所第1部(元)

• 本田 融

  東京大学生産技術研究所

• 桜井 誠

  東京大学生産技術研究所

• 大崎 明彦

  東京大学生産技術研究所

• 大崎 明彦

  東京大学生産技術研究所 (現在三菱電機 (株) LSI研究所)

• 辻 泰

  東京大学生産技術研究所

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