研究速報 : 超高真空用低温マニピュレーター

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概要

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• 東京大学生産技術研究所,Institute of Industrial Science, the University of Tokyo,東京大学生産技術研究所第1部 真空物理学,表面物理学,（株)日立製作所日立研究所の論文
• 1981-05-01

著者

• 辻 泰

  株式会社アルバック

• 桜井 誠

  神戸大学理学部

• 荒川 一郎

  学習院大

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