ナノプロセス用電子ビーム多価イオン源の開発

元データ 2005-05-20 日本真空協会

概要

A novel electron beam ion source was developed for nanoprocesses using highly charged ions. The ion source was designed to optimize the efficiency of ion production and extraction based on the trajectory calculations of electrons and ions traveling through the ion source. A commercial super-conducting magnet (Helmholz coils, 3 T) cooled by a closed-cycle refrigerator is used to reduce the operating costs. The separate vacuum chambers design enables 250°C baking of electrodes in the ion source to realize ultrahigh vacuum condition by removing the magnet chamber without venting.

著者

大谷 俊介 電気通信大学レーザー新世代研究センター
中村 信行 電通大レーザー
桜井 誠 神戸大理
益子 信郎 情報通信研究機構関西先端研究センター
中村 信行 電気通信大学レーザー新世代研究センター
櫻井 誠 神戸大学理学部
中嶌 史晴 神大院自然
福本 卓典 神戸大理
桜井 誠 神戸大学理学部
大谷 俊介 電通大レーザー研
櫻井 誠 神戸大院理物理
桜井 誠 神戸大学
益子 信郎 情報通信研究機構
中嶌 史晴 神戸大学理学部
福本 卓典 神戸大学理学部
桜井 誠 神戸大院理物理
大谷 俊介 電気通信大学
櫻井 誠 神戸大学理学研究科
中村 信行 電気通信大学

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