降矢 新治 | アルバック・クライオ株式会社
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概要
関連著者
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降矢 新治
アルバック・クライオ株式会社
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森本 秀敏
アルバック・クライオ(株)
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荒沢 健児
アルバック・クライオ株式会社
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松井 豊
日本真空技術株式会社技術開発部
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辻 泰
株式会社アルバック
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竹内 協子
(株)アルバック・コーポレートセンター
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黒川 裕次郎
日本真空技術株式会社
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大空 弘樹
日本真空技術株式会社技術開発部
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関 伸彰
日本真空技術・筑波半技研
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湯山 純平
日本真空技術株式会社
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黒川 裕次郎
株式会社アルバック・コーポレートセンター
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竹内 協子
株式会社アルバック・コーポレートセンター
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降矢 新治
アルパック・クライオ株式会社
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森本 秀敏
アルパック・クライオ株式会社
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湯山 純平
日本真空技術(株)
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金田 俊信
日本真空技術(株)
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粕谷 雅彦
アルバック・クライオ(株)
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関 伸彰
日本真空技術(株)
著作論文
- 蓄冷器分離型GM冷凍機を用いたベーカブルクライオポンプの開発
- クライオポンプの到達圧力付近における水素排気特性
- パルス管冷凍機の冷凍性能および冷凍温度安定性
- クライオポンプとクライオトラップの最近の発展
- クライオポンプのト-タル管理システム (次世代プロセスを支える半導体周辺材料・装置)
- 超高真空クライオポンプでの極高真空達成