松井 豊 | 日本真空技術株式会社技術開発部
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概要
関連著者
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松井 豊
日本真空技術株式会社技術開発部
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山川 洋幸
日本真空技術
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岡野 達雄
東大生研
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岡野 達雄
東京大学生産技術研究所
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山川 洋幸
日本真空技術株式会社
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山川 洋幸
日本真空技術(株)
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辻 泰
株式会社アルバック
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荒井 孝夫
(株)アルバック・コーポレトーセンター
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大空 弘樹
日本真空技術株式会社技術開発部
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降矢 新治
アルバック・クライオ株式会社
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荒沢 健児
アルバック・クライオ株式会社
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菅沢 秀行
日本真空技術(株)技術開発部
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奥野 亨
日本真空技術(株)技術開発部
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荒井 孝夫
株式会社アルバック・コーポレートセンター
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武内 協子
株式会社アルバック・コーポレートセンター
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山川 洋幸
日本真空技術(株)技術開発部
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沈 国華
日本真空技術(株)
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由井 和雄
日本真空技術 (株) 技術開発部
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山川 洋幸
日本真空技術 (株) 技術開発部
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由井 和雄
日本真空技術 (株)
著作論文
- 蓄冷器分離型GM冷凍機を用いたベーカブルクライオポンプの開発
- 鏡面 Si ウエハー対応真空中ダストモニターの開発
- 冷凍機分離型ベーカブル・クライオポンプの水素排気特性の測定
- 小型冷凍機付きベ-カブル型クライオポンプによる極高真空の発生 (極高真空シンポジュ-ムプロシ-ディングス)
- 小型冷凍機付きベーカブル型クライオポンプによる極高真空の発生