小型冷凍機付きベーカブル型クライオポンプによる極高真空の発生
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概要
著者
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松井 豊
日本真空技術株式会社技術開発部
-
沈 国華
日本真空技術(株)
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山川 洋幸
日本真空技術
-
由井 和雄
日本真空技術 (株) 技術開発部
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山川 洋幸
日本真空技術 (株) 技術開発部
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由井 和雄
日本真空技術 (株)
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