由井 和雄 | 日本真空技術 (株) 技術開発部

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著作論文

• 小型冷凍機付きベーカブル型クライオポンプによる極高真空の発生
• 全アルミニウム合金製小型スパッタ装置(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)

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