超高真空用AGステッピングモ-タの開発 (第28回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- レーリー散乱による中真空領域の実用真空計の検討
- 冷凍機分離型ベーカブル・クライオポンプの水素排気特性の測定
- 新型Low-kシリカ膜 : 高規則性を有した空孔構造
- 中真空領域の標準真空計及び実用真空計にレーザー光のレーリー散乱を用いる可能性に関する研究
- RHEED-TRAXS法を用いたGaAs基板清浄化過程の観察
- 10^Pa台の超高真空対応スパッタリング装置によるアルミニウム膜の堆積
- PF2.5GeV電子・陽電子蓄積リング高輝度化に使用するフランジの検討
- 低圧装置内のパーティクルの汚染
- アブストラクト
- アブストラクト
- 小型冷凍機付きベーカブル型クライオポンプによる極高真空の発生
- 11. 真空ポンプ
- 真空におけるダストフリー技術
- 真空をつくる : 真空をつくって,測る
- 全アルミニウム合金製小型スパッタ装置の超高真空特性
- 真空中磁気浮上搬送システム
- アブストラクト
- 真空中におけるダスト粒子の観察 (II)
- 超高真空対応100 MHz RF-DC結合バイアススパッタリング装置とAl膜の堆積
- 全アルミニウム合金製小型スパッタ装置(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- レ-ザ-光のレ-リ-散乱による中真空領域の圧力測定 (第31回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- 超高真空用AGステッピングモ-タの開発 (第28回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- 超高真空用AG(Axial gap)ステッピングモ-タの開発-2- (第30回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス)
- 真空利用生産装置とエアロゾル
- 29p-TD-10 シートプラズマイオン源の物理的特性(29pTD プラズマ物理・核融合(分布測定,アンテナ,マイクロ波源,イオン源))