超高真空クライオポンプでの極高真空達成

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本真空協会の論文

著者

• 降矢 新治

  アルバック・クライオ株式会社

• 森本 秀敏

  アルバック・クライオ(株)

関連論文

• 蓄冷器分離型GM冷凍機を用いたベーカブルクライオポンプの開発
• クライオポンプの到達圧力付近における水素排気特性
• パルス管冷凍機の冷凍性能および冷凍温度安定性
• クライオポンプとクライオトラップの最近の発展
• クライオポンプのト-タル管理システム (次世代プロセスを支える半導体周辺材料・装置)
• 超高真空クライオポンプでの極高真空達成
• 気体の凝縮を利用した超高真空ポンプ
• クライオポンプとともに30年

スポンサーリンク