日本真空技術株式会社技術開発部エッチング装置研究開発グループ
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1998-07-25
著者
関連論文
- 6. MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)製造プロセスにおけるフルオロカーボンプラズマ(材料プロセス用フルオロカーボンプラズマ-現状と展望-)
- 磁気中性線放電(NLD)プラズマによるエッチング技術
- 磁気中性線放電（NLD）プラズマによるエッチング技術
- NLDプラズマによる光デバイス材料のエッチング技術 (特集 オプトエレクトロニクスの最新成果を追う)
- 低圧, 高密度NLDプラズマと有機Low-kエッチングプロセス
- 4. 磁気中性線放電 (NLD) プラズマ : プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断 IV
- 磁気中性線放電プラズマによるSiO2膜の高速エッチング
- エネルギーフィルター付き四極子形質量分析計の評価
- 直流測定型広帯域電離真空計の諸特性
- エネルギーフィルター付き四極子形質量分析計の開発
- 極高真空用真空計(AT Gauge)の特性向上-残留電流の低減と感度の向上-
- ヘリウムリークディテクター用磁場偏向型質量分析管の開発
- 日本真空技術株式会社技術開発部エッチング装置研究開発グループ
- プラズマエッチング装置の高周波バイアス電極におけるイオンエネルギー分布
- 磁気中性線放電プラズマ(II)-酸化膜エッチングへの応用-
- 分子軌道法を用いたプロセスプラズマへのアプローチ