分子軌道法を用いたプロセスプラズマへのアプローチ
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概要
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分子軌道法の発展とパーソナルコンピュータの発展は目覚ましく,これまで困難と思われていた分子物性の計算が机上で比較的容易にできるようになってきた.一方,エッチング等のプロセス開発はプラズマプロセス中で起っている多くの現象が解明されないまま進められてきた.今後の開発をさらに発展させるためにはプロセス中で起っている現象解明が必須である.このため,未経験者でも分子軌道法を用いることができるように初歩的な解説を試みる.
- 2013-12-25
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