林 俊雄 | 名古屋大学プラズマナノ工学研究センター
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概要
関連著者
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林 俊雄
名古屋大学プラズマナノ工学研究センター
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林 俊雄
日本真空技術(株)技術開発部
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林 俊雄
日本真空技術
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高橋 直樹
株式会社アルバック
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辻 泰
株式会社アルバック
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秋道 斉
産業技術総合研究所計測標準研究部門
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高橋 直樹
日本真空技術(株)
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辻 泰
(株)アルバック・コーポレートセンター
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辻 泰
(株)アルバックコーポレートセンター
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高橋 直樹
株式会社 アルバック
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森川 泰宏
(株)アルバック・半導体電子技術研究所
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陳 巍
日本真空技術(株)半導体技術研究所
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内田 岱二郎
日本真空技術(株)半導体技術研究所
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内田 岱二郎
日本真空技術
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伊藤 正博
日本真空技術株式会社
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秋道 斉
日本真空技術(株)
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秋道 斉
(株)アルバック・コーポレートセンター
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竹内 協子
(株)アルバック・コーポレートセンター
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柳下 浩二
日本真空技術株式会社
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森川 泰宏
日本真空技術(株)半導体技術研究所
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安沢 慎児
日本真空技術(株)半導体技術研究所
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坪井 秀夫
日本真空技術株式会社
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黒川 裕次郎
日本真空技術株式会社
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塚越 修
日本真空技術(株)技術開発部
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水谷 直樹
日本真空技術(株)技術開発部
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柳下 浩二
日本真空技術
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柳下 浩二
日本真空技術(株)
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塚越 修
日本真空技術(株)
著作論文
- 6. MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)製造プロセスにおけるフルオロカーボンプラズマ(材料プロセス用フルオロカーボンプラズマ-現状と展望-)
- 磁気中性線放電(NLD)プラズマによるエッチング技術
- 磁気中性線放電（NLD）プラズマによるエッチング技術
- NLDプラズマによる光デバイス材料のエッチング技術 (特集 オプトエレクトロニクスの最新成果を追う)
- 低圧, 高密度NLDプラズマと有機Low-kエッチングプロセス
- 4. 磁気中性線放電 (NLD) プラズマ : プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断 IV
- 磁気中性線放電プラズマによるSiO2膜の高速エッチング
- エネルギーフィルター付き四極子形質量分析計の評価
- 直流測定型広帯域電離真空計の諸特性
- エネルギーフィルター付き四極子形質量分析計の開発
- 極高真空用真空計(AT Gauge)の特性向上-残留電流の低減と感度の向上-
- ヘリウムリークディテクター用磁場偏向型質量分析管の開発
- 日本真空技術株式会社技術開発部エッチング装置研究開発グループ
- プラズマエッチング装置の高周波バイアス電極におけるイオンエネルギー分布
- 磁気中性線放電プラズマ(II)-酸化膜エッチングへの応用-
- 分子軌道法を用いたプロセスプラズマへのアプローチ