坪井 秀夫 | 日本真空技術株式会社

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概要

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関連著者

• 坪井 秀夫

  日本真空技術株式会社

• 伊藤 正博

  日本真空技術株式会社

• 林 俊雄

  名古屋大学プラズマナノ工学研究センター

• 林 俊雄

  日本真空技術(株)技術開発部

• 陳 巍

  日本真空技術(株)半導体技術研究所

• 内田 岱二郎

  日本真空技術(株)半導体技術研究所

• 内田 岱二郎

  日本真空技術

• 山科 俊郎

  北海道大学工学部

• 日野 友明

  北海道大学

• 坂本 雄一

  東洋大学工学部

• 水月 直樹

  北海道大学工学部原子工学科

• 日野 友明

  北海道大学工学部原子工学科

• 林 俊雄

  日本真空技術

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著作論文

• 4. 磁気中性線放電 (NLD) プラズマ : プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断 IV
• ECR窒素プラズマによるジルコニウムの表面改質

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