水谷 直樹 | 日本真空技術(株)技術開発部

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概要

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• 同名の論文著者
• 日本真空技術(株)技術開発部の論文著者

関連著者

• 林 俊雄

  名古屋大学プラズマナノ工学研究センター

• 林 俊雄

  日本真空技術(株)技術開発部

• 水谷 直樹

  日本真空技術(株)技術開発部

• 林 俊雄

  日本真空技術

著作論文

• プラズマエッチング装置の高周波バイアス電極におけるイオンエネルギー分布

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