細川 直吉 | 日電バリアン(株)

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概要

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関連著者

• 細川 直吉

  日電バリアン(株)

• 麻蒔 立男

  東京理科大学工学部電気工学科

• 麻蒔 立男

  東京理科大学工学部・電気工学科

• 麻蒔 立男

  日電バリアン(株)

• 細川 直吉

  日電アネルバ株式会社

• 細川 直吉

  アネルバ株式会社

• 細川 直吉

  日電アネルバ研究開発本部

• 塚田 勉

  日電バリアン株式会社

• 竹谷 道生

  日電バリアン(株)

• 中司 昌志

  日電バリアン株式会社真空機器技術部

• 麻蒔 立男

  日電バリアン (株)

• 細川 直吉

  日電バリアン株式会社

• 細川 直吉

  日電バリアン株式会社真空事業部

• 細川 直吉

  日電バリアン株式会社真空機器技術部

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著作論文

• 制御電極による2極スパッタの放電々流の制御(I) : 薄膜
• 高周波イオンプレーテイングの基板入射イオン電流特性
• 高速・低温スパッタリングとその電子デバイスへの応用
• RFスパッタリング装置中のパワー消費と基板温度
• スパッタリング装置
• RFスパッタリングによるSiO2の附着速度と真空系の質

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