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細川 直吉 | 日電バリアン株式会社真空事業部
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日電バリアン株式会社真空事業部の論文著者
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細川 直吉
日電バリアン(株)
細川 直吉
日電バリアン株式会社真空事業部
著作論文
高速・低温スパッタリングとその電子デバイスへの応用
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