Wafer-on-wafer 構造における貫通Si電極周辺の局所歪の評価
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概要
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- 2012-02-27
著者
-
中塚 理
名古屋大学
-
大場 隆之
東京大学
-
水島 賢子
株式会社富士通研究所
-
北田 秀樹
東京大学大学院工学系研究化総合研究機構
-
財満 鎭明
名古屋大学
-
金 永束
東京大学
-
中村 友二
株式会社富士通研究所
-
北田 秀樹
東京大学
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