中エネルギ-イオン散乱法を用いたシリサイド/シリコン界面の構造解析

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概要

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• 日本金属学会の論文
• 1995-07-20

著者

• 財満 鎭明

  名古屋大学大学院工学研究科

• 財満 鎭明

  名古屋大学助教授;工学部結晶材料工学専攻

• 財満 鎭明

  名古屋大学

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