Pr(EtCp)3を用いた原子層成長法によるPr酸化膜の作製とその電気的特性 (小特集 真空を利用した材料プロセスの新展開--化学気相成長から原子層成長へ)

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概要

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著者

• 財満 鎭明

  名古屋大学大学院工学研究科

• 近藤 博基

  名古屋大学大学院工学研究科

• 坂下 満男

  名古屋大学大学院光学研究科

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