Crystalline and electrical properties of mictamict TiSiN gate MOS capacitors

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概要

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• 2007-09-19

著者

• 酒井 彰

  室蘭工大工

• ZAIMA Shigeaki

  Graduate School of Engineering, Nagoya University

• SAKAI Akira

  Graduate School of Engineering, Nagoya University

• OGAWA Masaki

  EcoTopia Science Institute, Nagoya University

• SAKASHITA Mitsuo

  Graduate School of Engineering, Nagoya University

• 近藤 博基

  名古屋大学大学院工学研究科

• Kondo H

  Department Of Biochemical Engineering And Science Kyushu Institute Of Technology

• Sakai A

  Department Of Crystalline Materials Science Graduate School Of Engineering Nagoya University

• KONDO Hiroki

  Graduate School of Engineering, Nagoya University

• Ogawa Masaki

  Ecotopia Science Institute Nagoya University

• FURUMAI Kouhei

  Graduate School of Engineering, Nagoya University

• OGAWA Masaki

  Nagoya University, Ecotopia Science Institute

• Sakai A

  Division Of Electrical And Computer Engineering Yokohama National University

• Okada Masahisa

  Department Of Crystalline Materials Science Graduate School Of Engineering Nagoya University

• Zaima S

  Nagoya Univ. Nagoya Jpn

• Kondo Hideo

  Institute Of Advanced Material Study Graduate School Of Engineering Sciences And Crest Japan Science

• Kondo Hirotomo

  Department Of Applied Chemistry Faculty Of Engineering Sojo University

• Kondo H

  Department Of Applied Chemistry Faculty Of Engineering Sojo University

• Zaima Shigeaki

  Graduate School Of Engineering Nagoya University

• Furumai Kouhei

  Graduate School Of Engineering Nagoya University

• Sakashita M

  Graduate School Of Engineering Nagoya University

• Zaima Shigeaki

  Graduate School Of Eng. Nagoya Univ.

• Sakashita Mitsuo

  Graduate School of Eng., Nagoya Univ.

• Sakai Akira

  Graduate School of Engineering Science, Osaka University, 1-3 Machikaneyama-cho, Toyonaka, Osaka 560-8531, Japan

• Sakai Akira

  Graduate School of Engineering Science, Osaka University, 1-3 Machikane-cho, Toyonaka, Osaka 560-8531, Japan

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