次世代シリコンULSIに向けたIV族系半導体ヘテロ界面のひずみと転位の制御技術と評価

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 2006-04-10

著者

• 酒井 朗

  名古屋大学工学研究科

• 財満 鎭明

  名古屋大学大学院工学研究科

• 酒井 朗

  大阪大学

• 酒井 朗

  名古屋大学

• 財満 鎭明

  名古屋大学

• 財満 鎭明

  名古屋大学大学院 工学研究科

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